Alüminyum nitrür ince filmlerin büyütülmesi ve mikroyapılarının incelenmesi / The growth of aluminium nitride thin films and investigation of their microstructures

dc.contributor.advisor	PROF. DR. YUSUF ATICI
dc.contributor.author	DÜZGÜN KAL
dc.date.accessioned	2019-08-13T20:43:36Z
dc.date.available	2019-08-13T20:43:36Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11508/17238
dc.language.iso	Türkçe
dc.title	Alüminyum nitrür ince filmlerin büyütülmesi ve mikroyapılarının incelenmesi / The growth of aluminium nitride thin films and investigation of their microstructures
dc.contributor.YOKID	421116
dc.relation.publishinghaddress	Fizik Anabilim Dalı
dc.published.type	Ulusal