METAL OKSİT YARI İLETKEN MALZEMELERİN ÜRETİLMESİ VE KUARTZ KRİSTAL MİKROTERAZİ NEM SENSÖRLERİNİN HAZIRLANMASI

Abstract

Bu çalışmada, katkısız ve farklı oranlarda (%0,1, %1 ve %2) katkılandırılan Sn katkılı ZnO nanotoz numuneleri Sol-jel metoduyla hazırlandı. Elde edilen numunelerin yapısal, elektriksel, optiksel, yüzeysel ve nem algılama özellikleri farklı analiz teknikleri ile incelenmiş ve katkılamanın bu özellikler üzerine etkisi araştırılmıştır. Üretilen numunelerin kristal yapıları ve yüzey morfolojisi sırasıyla X-Isını Kırınımı (XRD) ve Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) ile analiz edilmiştir. X-Işını kırınım desenlerinden, elde edilen numunelerin hekzagonal wurtzite ve polikristal yapıda olduğu belirlenmiştir. Tüm numunelerin difraksiyon desenleri incelendiğinde maksimum şiddetli pikin (101) düzlemine ait olan pik olduğu gözlenmiştir. Numunelerin ortalama tane boyutları, kristal büyüklükleri ve örgü sabitleri hesaplanmıştır. Ayrıca, numunelerin elektriksel özellikleri 2-uç metodu kullanılarak araştırılmıştır. Numunelerin iletkenliklerinin sıcaklığa bağlı değişimlerinden düşük ve yüksek sıcaklık bölgeleri için aktivasyon enerjileri hesaplandı. Numunelerin optik özelliklerini incelemek için UV-VIS spektrofotometre kullanıldı. Optik absorpsiyon çalışmalarından numunelerin direkt bant geçişli olduğu ve yasak enerji aralığı değerlerinin 3,24 ? 3,28 eV arasında olduğu bulunmuştur. ZnO nanoyapıların sensör özelliklerinin araştırılmasında Kuartz Kristal Mikrobalans (QCM) tekniği kullanılmıştır. Sentezlenen katkısız ve Sn katkılı ZnO nanoyapıların sensör özellikleri, frekans değişikliğine bağlı olarak, değişen nem koşullarında incelenmiştir. Sonuç olarak, yapmış olduğumuz nem sensörü uygulamalarında katkısız ve Sn katkılı ZnO nanotoz numunelerin kullanılabilirliği kanıtlanmıştır.Anahtar Kelimeler: Sensörler, Nem Sensörleri, Kuartz Kristal Mikrobalans, QCM, Yarıiletkenler, Çinko oksitIn this study, undoped and Sn doped ZnO nanodust samples doped with different concentrations (0,1%, 1%, and 2%) have been prepared by Sol-gel method. The structural, electrical, optical, surface and humidity sensing properties of the samples have been characterized using different analysis techniques and the effect of doping on these properties have been investigated. The crystalline structures and surface morphology of the produced nanostructures were analyzed by X-Ray Diffraction (XRD) and Atomic Force Microscopy (AFM), respectively. X-Ray diffractometer measurements revealed that all the obtained samples were hexagonal wurtzite and polycrystalline structure. When the difraction patterns of all samples are investigated, it has been observed that the peak which has maximum intense is the peak belonging to (101) plane. Average grain size values, size of the crystallites and lattice constants of the samples were calculated. Besides, the electrical properties of the samples were investigated by using 2-probe method. Using the variations of electrical conductivities with temperature of the samples, the activation energies for low and high temperature regions were calculated. The UV-VIS spectrophotometer used to examine optic properties of the samples. The optical absorption studies reveal that the transition is direct with band gap energy values between 3,24 ? 3,28 eV. During the investigation of the sensor characteristics of ZnO nanostructures, the method of Quartz Crystal Microbalance (QCM) has been used. Sensor characteristics of synthesized undoped and Sn doped ZnO nanostructures, as a dependent upon the changes of frequency, have been researched in the changing humidity circumstances. Consequently, the usability of the undoped and Sn doped ZnO nanodust samples in the humidity sensor applications was proved.Keywords: Sensors, Humidity Sensors, Quartz Crystal Microbalance, QCM, Semiconductors, Zinc Oxide