ZR ESASLI NANO GÖZENEKLİ GETTER MALZEMELERİNİN ÜRETİLMESİ VE MİKRO YAPI ÖZELLİKLERİNİN İNCELENMESİ

Abstract

Toz metalurjisi ile üretimi yapılan ve geniş uygulama alanına sahip gaz giderici olarak da bilinen 'Getter' malzemeler vakum ortamını korumak için büyük önem arz etmektedir. Vakum sisteminin çalışma şekline bağlı olarak farklı tiplerde gaz giderici malzemeler geliştirilmiştir. Buharlaşmayan gaz giderici olarak da bilinen 'Non-Evaporable Getter' malzemeler en çok elektronik alanda yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu çalışmada, tane boyutu 60-100 nm aralığındaki Zirkonyum, Vanadyum ve Demir tozları, toz metalürjisi yöntemiyle üretilerek presleme ve sıcaklık değerleri araştırılmıştır. Üretilen getter malzemelerin Presleme ve sinterleme sıcaklığı değişiminin yoğunluk, porozite, sertlik ve mikroyapıya etkisi incelenmiştir. Artan presleme basıncı ve sinterleme sıcaklığı etkisi ile sertlik değeri ve yoğunluğunun arttığı, gözenekliliğin azaldığı belirlenmiştir.

The protection of the vacuum environment of Getter, also known as degasser of powder metallurgy, is of great importance. Depending on the way the vacuum system works, different types of degassing materials have been developed. The materials of 'Non-Evaporable Getter', also known as non-evaporative degasser, are widely used in the electronic field. In this study, zirconium, vanadium and iron powders in the range of 60-100 nm are produced by powder metallurgy method and pressing and temperature values are investigated. The effects of pressing and sintering temperature changes of the produced getter materials on density, porosity, hardness and microstructure were investigated. It was determined that the hardness value and density increased and porosity decreased with the effect of increasing pressing pressure and sintering temperature.